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扫描电镜（SEM）是一种利用电子束来观察样品表面微观结构的仪器。在SEM中获取深度信息通常涉及以下几种方法：

焦深度调整： SEM允许用户调整焦深度，即所谓的“工作距离”或“对焦深度”。通过调整工作距离，可以改变在样品表面上清晰可见的区域。然而，这种方法的调整范围有限，而且可能影响图像的分辨率。

斜视图观察： 通过倾斜样品，可以从不同角度观察样品表面，从而获取关于样品三维结构的信息。这种方法可以通过SEM的样品舞台进行实现。

立体重建： 利用多个不同角度或焦平面的图像，可以进行立体重建，以获取样品的三维形状信息。这可能需要计算机辅助的图像处理技术来生成深度信息。

透射电子显微镜： 虽然不是SEM，但TEM是另一种电子显微镜，它通过样品而不是在其表面扫描。TEM可以提供样品的截面图像，因此可以获取更多的深度信息。

聚焦离子束切割： 利用FIB技术，可以在SEM中使用离子束切割样品表面，揭示其内部结构，从而获取深度信息。

请注意，每种方法都有其优缺点，并且选择取决于研究的具体要求。深度信息的获取可能需要结合多种技术和图像处理方法。

ZEM20台式扫描电镜

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