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分辨率与扫描电镜的工作距离有关吗

日期:2023-12-25

扫描电镜的分辨率与工作距离之间存在关系。工作距离是指从电子枪到样品表面的距离,它可以影响电子束的焦距和散焦度,从而影响成像的分辨率。

通常情况下,较小的工作距离有助于获得更高的分辨率。当电子束离开电子枪并聚焦在样品表面时,较小的工作距离使得电子束的散焦度减小,从而能够更好地集中在样品表面,提高成像的清晰度和分辨率。

然而,需要注意的是,选择适当的工作距离也要考虑样品的性质和要观察的细节。在一些情况下,可能需要通过调整工作距离来实现高质量的成像效果。

总的来说,优化工作距离是提高扫描电镜分辨率的重要因素之一,但同时也需要考虑其他因素,如电子束的能量、透射电子探测器的使用等。在具体的操作中,可以通过实验和调整来确定适合的工作距离,以获得所需的高分辨率成像效果。

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作者:泽攸科技