扫描电镜如何应对非导电样品的观察
日期：2023-12-20
在扫描电镜（SEM）中，观察非导电样品时会面临电荷积聚、图像漂移等问题。为了解决这些问题，可以采用一些特殊的样品处理和技术手段。以下是一些常见的方法：
导电涂层：
对非导电样品进行导电涂层是一种常见的方法。通过在样品表面涂覆薄导电层，如金属或碳，可以提高样品的导电性，减少电荷积聚。这有助于在扫描电镜中获得更清晰的图像。
金属蒸镀：
利用金属蒸镀设备对样品进行金属蒸镀，形成薄导电金属层。这种方法适用于小型样品，如生物样品、纤维等。金属蒸镀可以提供良好的导电性，同时保持样品表面的形貌。
碳蒸镀：
对样品进行碳蒸镀是另一种增加导电性的方法。碳薄膜可以在样品表面形成均匀的导电层，适用于一些对金属灵敏的样品。
样品制备技术：
优化样品的制备技术，采用导电基底材料或导电胶水将非导电样品固定在导电基底上。这样可以改善样品的导电性，并减轻电荷积聚的影响。
低电压成像：
降低扫描电镜的电子束能量，采用较低的加速电压。较低的电子束能量有助于减小电荷积聚的影响，但也可能降低分辨率。
防静电装置：
使用防静电设备，如防静电棒、离子风机等，以减轻电荷积聚。这些设备可以在观察过程中减小样品表面的静电电荷。
逐步扫描：
采用逐步扫描的方式进行观察，减少电荷的累积。这意味着在不同区域进行逐步扫描，以减小电荷影响的积累。
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作者：泽攸科技