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扫描电子显微镜（SEM）中的电子背散射（BSE）成像是一种获取样品表面组成信息的技术。以下是电子背散射成像的基本原理解析：

电子源产生： 扫描电子显微镜使用电子束作为探针。这个电子束由电子枪产生，经过适当的调节后照射到样品表面。

与物质相互作用： 电子束与样品中的原子发生相互作用。在这个过程中，电子可以被样品原子中的外层电子散射，其中一部分电子被散射到背面。

背散射电子产生： 样品中的高原子序数元素会引起更多的电子背散射。这些背散射电子具有高能量和高角度，与样品的元素成分相关。

探测器捕获： 安装在扫描电镜中的探测器用于捕获背散射电子。探测器测量电子的能量和角度，并将这些信息转化为图像。

成像和分析： 得到的图像显示了样品表面的组成信息。高原子序数的区域通常显示为明亮的区域，而低原子序数的区域则较暗。这使得观察样品的元素分布和化学组成成为可能。

ZEM20台式扫描电镜

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