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扫描电镜如何选择适当的探测器角度和方向

日期:2023-11-03

在扫描电镜中选择适当的探测器角度和方向对于获得所需的信号和信息非常重要。不同的探测器角度和方向可以用于不同的成像和分析目的。以下是一些选择适当的探测器角度和方向的一些建议:

后向散射电子成像:BSE探测器通常安装在扫描电镜底部,以检测从样品返回的高能电子。探测器角度通常与电子束方向相反。这种成像通常用于获得样品的原子序数信息,例如化学成分和晶体结构。

同步辐射X射线荧光成像:XRF探测器通常安装在样品上方,以检测从样品表面发射的X射线。探测器的角度和位置取决于所需的元素成分分析。

透射电子显微镜:在TEM中,电子束透过样品,而不是从样品表面反射。探测器通常安装在样品的底部,以检测透射电子的投射图像。

散射电子显微镜:STEM中的电子束可以在样品上进行定位,探测器可以以不同的角度和位置进行安装,以获取不同类型的信号,例如高角度散射电子成像。

能谱分析:用于能谱分析的探测器通常安装在样品上方,并根据所分析的元素以及所使用的光子或电子能量进行调整。

选择取决于具体的研究目的,需要考虑所需的信号类型、分辨率、样品类型和仪器配置。通常,通过尝试不同的角度和方向来优化图像和分析是一个有效的方法,以获得所需的信息。

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作者:泽攸科技