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扫描电镜（SEM）中的电子探针和能量色散分析（EDS）是用于获取材料样品化学成分和表面拓扑信息的重要技术。以下是它们的工作原理和应用：

电子探针（Electron Probe）： 电子探针是扫描电镜中的一种技术，通过聚焦电子束在样品表面产生的相互作用来获取有关样品的信息。这些相互作用包括以下几个方面：

二次电子发射（Secondary Electron Emission）： 当高能电子束击中样品表面时，会产生二次电子发射。这些二次电子可以用于生成高分辨率的表面拓扑图像。

散射电子（Backscattered Electrons）： 部分电子束被样品的原子核散射回来，形成散射电子图像。散射电子图像提供了样品的组成信息，通常与样品中的原子数量成正比。

X射线发射（X-ray Emission）： 电子束与样品相互作用时，激发了内部原子的电子，导致它们跳跃到更高能级，然后回到基态时发射X射线。这些X射线具有特定的能量，可以用于识别样品中的元素。

能量色散分析（EDS）： 能量色散分析是一种用于确定样品化学成分的技术，它通常与扫描电镜一起使用。它的工作原理如下：

X射线检测： 当电子束与样品相互作用并激发内部原子时，样品会发射X射线。这些X射线具有不同的能量，与被激发的元素有关。

X射线能量分析： EDS系统使用能量分散仪来测量X射线的能量。不同元素的X射线具有不同的能量特征，因此可以根据X射线的能谱确定样品中的元素。

定量分析： 通过比较测得的X射线能谱与已知元素的标准库，可以定量分析样品中的元素含量。这可以用来确定元素的百分比和相对浓度。

ZEM18台式扫描电镜

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜中的电子探针和能量色散分析。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。