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扫描电镜（SEM）本身不能进行化学成分分析，但可以与能量色散X射线光谱仪（EDS）或能量色散X射线分析仪（EDX）结合使用来进行化学成分分析。这种组合通常称为SEM-EDS或SEM-EDX系统。

SEM-EDS系统可以用于分析材料样品的化学成分。它的工作原理是，当电子束击中样品表面时，会激发出来自样品的X射线。这些X射线的能量特征对应于样品中不同元素的存在。EDS/EDX系统会测量这些X射线，并根据它们的能量来确定样品中的元素种类和相对浓度。

以下是SEM-EDS分析的一般步骤：

准备样品： 样品通常需要导电性，因此需要涂覆导电性薄层或进行金属涂层，以便SEM观察和分析。

设置扫描电镜条件： 在SEM中选择合适的电子束能量和焦点，以获得高分辨率的图像。

获取扫描电镜图像： 使用SEM来观察样品表面，并选择要进行化学成分分析的区域。

EDS数据采集： 在感兴趣的区域内，启动EDS/EDX系统进行数据采集。系统会测量X射线的能谱。

能谱分析： 使用EDS/EDX软件来分析能谱数据。软件会识别和分析X射线峰，从而确定元素种类和相对浓度。

结果解释： 根据分析结果解释样品的化学成分。可以生成化学成分的报告，包括元素的百分比和分布图。

ZEM15台式扫描电子显微镜

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