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扫描电镜中的像散校正如何进行

日期:2023-08-31

在扫描电镜(SEM)中,像散校正是一种重要的校正步骤,用于纠正由于电子透镜的离轴像散效应而导致的图像畸变。像散校正有助于提高SEM图像的质量和解析度。以下是一般性的步骤和方法,说明SEM中的像散校正如何进行:

选择合适的样品: 为了进行像散校正,你需要选择一个具有明显特征的样品,可以是一些具有明显边缘和结构的微小颗粒或特征。

获取像散校正图像: 将样品放在SEM样品台上,选择一个适当的放大倍数和成像参数,然后获取一个清晰的图像,包括一些明显的边缘和特征。

选择像散校正区域: 在图像中选择一个具有明显特征的区域,这将成为你进行像散校正的区域。

应用像散校正: SEM通常配备了像散校正功能,可以通过校正软件或图像处理工具来实现。你需要输入校正区域的位置,并进行校正操作。

调整参数: 在校正过程中,通常需要调整一些参数,如校正强度、校正方向等,以获得高质量的校正效果。

确认校正效果: 校正完成后,获取另一个图像,以验证是否成功校正了像散畸变。新图像应该显示更少的畸变和扭曲。

重复校正: 如果需要,你可以多次尝试进行像散校正,调整参数和校正区域,直到获得高质量的校正效果。

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作者:泽攸科技