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扫描电子显微镜是一种强大的显微镜，可以通过电子束而不是光束来成像样品表面的微观结构。其成像机制涉及以下几个关键步骤：

电子源产生电子束： SEM使用一个电子枪来产生高能电子束。在电子枪中，热丝被加热，产生电子，然后由电场聚焦形成一个细束。

聚焦电子束： 产生的电子束被聚焦成一个细小的束，类似于光学显微镜中的焦点。

样品表面的激发和信号发射： 当电子束照射到样品表面时，样品表面的原子会被电子击中，导致电子从样品中被排出。这些击出的电子分为两种类型：

次级电子（SE）： 这些电子是从样品表面的外层排出的。它们提供了关于样品表面拓扑和形状的信息。

反射电子（BSE）： 这些电子是从样品内部击出的，并受到不同能量的束撞离。它们提供了有关样品的组成和密度的信息。

信号收集和检测： 次级电子和反射电子被收集并发送到探测器中进行检测。次级电子探测器和反射电子探测器是两种常用的探测器类型。

扫描样品表面： SEM通过在样品表面上进行扫描，移动电子束，以获取样品不同区域的信息。这个过程产生了一个逐点的图像，可以形成样品的表面图像。

成像和显示： 收集到的信号被转换为图像，可以在显示屏上观察。图像的亮度或颜色通常用来表示样品表面的特征和性质。

ZEM15台式扫描电子显微镜

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