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扫描电镜图像中的深度信息如何获得?

日期:2023-08-21

传统的扫描电镜是一种使用电子束而不是光束的显微镜,因此无法直接获取样品的真实深度信息。SEM主要提供表面形貌的二维图像,不同深度的特征通常会在图像上叠加显示。

然而,有一些技术和方法可以在SEM图像中获取一些关于深度信息的提示:

倾斜拍摄:通过在不同的角度进行样品拍摄,可以获得来自不同方向的信息。这些图像可以用于生成三维效果的图像,虽然不能提供深度信息,但可以给观察者一种立体感。

多焦点图像:通过在不同焦平面上进行多次扫描,可以获取不同深度上的图像。将这些图像叠加或处理,可以获得一些关于表面之上的深度信息。

表面形貌变化:通过观察SEM图像中的阴影、明暗变化和纹理等特征,可以对样品的表面形貌变化和深度差异有一定的了解。然而,这种方法并不准确,只能提供一些感性的深度信息。

SEM与其它技术的结合:将SEM与其它技术,如离子束切割、原子力显微镜(AFM)等相结合,可以获得更多的深度信息。例如,通过离子束切割可以在样品上制作横截面,然后用SEM观察这些横截面,从而获得一定的深度信息。

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作者:泽攸科技