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扫描电镜的加速电压如何影响图像质量?

日期:2023-08-18

扫描电镜(SEM)的加速电压是指加速电子束的能量。加速电压的选择会直接影响SEM图像的质量和特性。以下是加速电压对图像质量的影响:

分辨率:加速电压对SEM图像的分辨率有直接影响。较高的加速电压可以产生较短的电子波长,从而提高图像的空间分辨率。这意味着您可以更好地分辨样品表面的细小特征。但是,过高的加速电压可能会引发电子束穿透样品表面,导致信号损失。

深度信息:低加速电压可以在表面形成较深的电子云,从而获得样品表面的拓扑信息。高加速电压则会减少电子云的深度,可能导致一些表面细节无法被很好地捕捉。

信号强度:高加速电压会产生更多的次级电子,这些次级电子在与样品交互后返回并被探测器捕获。因此,较高的加速电压通常会提供更高的信号强度,从而产生更明亮、更详细的图像。

样品损伤:高加速电压可能导致样品电离和电子束诱发的损伤,特别是对于非导电样品。在选择加速电压时,需要考虑样品的特性,以避免损伤。

表面充电效应:低加速电压通常会产生更强的表面充电效应,导致图像中的光斑和背景扭曲。在一些情况下,这可能会影响图像的解释和分析。

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作者:泽攸科技