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在扫描电子显微镜（SEM）中，深度探针是指电子束在样本表面扫描期间所能达到的深度范围。它与电子束的特性、样本性质以及扫描参数有关。深度探针的大小决定了电子束在样本表面上相对于表面的深度范围，即电子束穿透样本表面的程度。

深度探针在以下情况下会被考虑和使用：

表面形貌和拓扑分析： 当需要研究样本的表面形貌、结构、纹理以及微观拓扑特征时，可以使用较浅的深度探针，以确保电子束只在样本表面扫描，不深入样本内部。

断面观察： 有时需要观察样本的横截面，了解样本的内部结构和层次。在这种情况下，需要较大的深度探针，使电子束能够穿透样本表面并进入一定深度，从而观察到样本的内部层次。

化学成分分析： 使用能量色散X射线谱（EDS）附加设备，可以对样本进行化学成分分析。适当选择深度探针可以在不破坏样本的情况下获取元素分布信息。

导电性分析： 对于非导电的样本，高探针电流可能引起电荷积累和图像失真。选择合适的深度探针可以减轻这些问题。

薄层和涂层分析： 对于涂层、薄层或多层结构的样本，适当的深度探针可以帮助观察不同层的界面和结构。

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