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扫描电镜检测器的工作原理是怎样的?

日期:2023-06-25

扫描电镜检测器的工作原理可以根据不同类型的检测器而有所不同。以下是几种常见扫描电镜检测器的工作原理简介:

二次电子检测器:二次电子检测器主要用于观察样品表面的形貌信息。当样品被扫描电子束照射时,样品表面的原子与电子发生相互作用,产生一部分能量较低的二次电子。二次电子检测器通过将样品表面的二次电子收集起来,放大和探测,生成显微图像。这种检测器对于样品表面的形貌特征比较敏感。

回散射电子检测器:回散射电子检测器用于分析样品的成分和结构信息。当样品被扫描电子束照射时,部分电子被样品原子的核吸引,并发生回散射。回散射电子的能量和角度与样品的成分和密度相关。回散射电子检测器通过收集和探测回散射电子,并将其转换为电信号,以获得样品的成分分布和结构信息。

X射线能谱仪(: X射线能谱仪用于分析样品的化学成分。当样品被扫描电子束照射时,样品中的原子会被激发并发射出特定能量的X射线。EDS检测器通过收集这些X射线,并将其能谱转换为电信号进行分析。通过分析X射线的能量和强度,可以确定样品中存在的元素种类和相对含量。

这些只是扫描电镜检测器中的几个常见类型,实际上还有其他类型的检测器,如探针显微镜(如原子力显微镜和扫描隧道显微镜)的工作原理与上述有所不同。不同的检测器通过收集、转换和探测样品表面产生的信号,将其转化为可视化图像、电信号或能谱信息,从而提供有关样品表面形貌、成分、结构等方面的信息。

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以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜检测器的工作原理。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)

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作者:泽攸科技