中文
English

扫描电镜（SEM）的成像原理是通过对样品表面进行扫描和检测来获取图像。以下是SEM的基本成像原理：

电子源：SEM使用一个电子枪产生高能电子束。电子枪中的热阴极会发射出电子，然后通过加速电场加速这些电子，形成高速的电子束。

电子束聚焦：在电子源之后，电子束通过一系列的电磁透镜（如透镜和磁透镜）进行聚焦。这些透镜控制电子束的径向和轴向尺寸，使其变得细小和聚焦。

样品交互：电子束在样品表面扫描时与样品交互。当高能电子束与样品表面的原子和分子相互作用时，会发生多种相互作用过程，包括散射、激发和电子发射等。

信号检测：样品与电子束交互时会产生不同类型的信号。常用的信号是次级电子和后向散射电子。次级电子是由电子束与样品表面相互作用后从表面解吸出来的低能电子。后向散射电子是由电子束与样品表面相互作用后，以较高能量散射回到探头的电子。

信号检测器：扫描电镜中使用相应的探头或探测器来检测由样品产生的信号。常见的探测器包括次级电子探测器和后向散射电子探测器。探测器将接收到的信号转化为电信号，并发送给图像处理系统。

图像生成：通过控制电子束的位置和强度，扫描电镜系统可以逐点扫描样品表面，并根据接收到的信号强度生成像素级的图像。这些图像可以被重新构建成样品表面的全景图像。

需要注意的是，扫描电镜成像是间接的，需要通过扫描和信号检测来获取图像，而不是直接观察样品。这种成像方式使得SEM能够提供高分辨率的表面形貌图像和详细的样品信息。

ZEM15台式扫描电子显微镜

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜的成像原理。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)。