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台式扫描电镜为什么要喷金?

日期:2022-07-27

台式扫描电镜为什么要喷金?泽攸科技小编往期带大家了解过扫描电子显微镜(SEM)的样品处理的要求其一,样品表面一定要导电。

在大多数情况下,初级电子束电荷数量都大于背散射电子和二次电子数量之和,因此多余的电子须导入地下,即样品表面电位须保持在0电位。如果样品表面不导电,或者样品接地线断裂,那么样品表面静电荷存在,使得表面负电势不断增加,出现充电效应,使图像畸变,入射电子束减速,此时样品如同一个电子平面镜。

非导电样品绝缘电阻大,在电子束扫描下,样品表面逐渐积累负电荷,排斥入射电子,二次电子发射不稳定,并随机偏转二次电子,造成图像晃动、亮度突变、出现无规则的明暗条纹,也就是所谓的“荷电效应”。


样品未喷金ZEM15台式扫描电镜成像.png                          样品喷金后ZEM15台式扫描电镜成像2.png

  样品未喷金ZEM15台式扫描电镜成像                                样品喷金后ZEM15台式扫描电镜成像

草叶表面喷金后扫描电镜成像4.png                           昆虫复眼喷金后扫描电镜成像 3.png

   草叶表面喷金后扫描电镜成像                                                 昆虫复眼喷金后扫描电镜成像


通常在样品表面镀一层导电膜可以提高样品的导电性,表面的负电荷通过导电膜释放入地,消除荷电。电荷释放的前提是膜层要与金属样品台相连接,形成导电通道,此外连续的导电膜也可以提高样品的导热性,减小热损伤。目前常用的镀膜技术为真空蒸发和离子溅射。

常用的镀膜材料有C、Al、Cr、Au、Pt、Au-Pd合金。金膜二次电子产率高、覆盖性好、镀膜容易,是常用的材料,但颗粒较大,适用于中低范围的分辨率、两万倍以下的图像。 Pt和Au-Pd合金膜的颗粒要细得多,适用于高分辨率图像。使用场发射电镜对膜层要求更高,至少要在20万倍下膜层不能显现结构,高真空镀Cr可以满足要求。C膜均匀性好,导电导热效率高,又是比较经济的材料,只是二次电子产率低,不适合高倍图像。

台式扫描电镜

泽攸科技-ZEM15台式扫描电镜

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作者:泽攸科技