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台式扫描电镜光阑的主要作用

日期:2023-05-08

台式扫描电镜(SEM)光阑是位于电子枪出口处的一个圆形金属片,其作用是限制电子束的直径和控制束斑的形状,以便获得高分辨率的SEM图像。具体来说,光阑主要有以下两个作用:

控制电子束的直径:光阑的中心孔洞大小决定了电子束的直径。通过调节光阑的孔径大小,可以控制束斑的直径,从而控制电子束的聚焦程度。这对于SEM图像的分辨率非常重要,因为更小的束斑可以提供更高的分辨率和更清晰的图像。

控制电子束的形状:光阑可以调整束斑的形状,通常使用的是圆形或椭圆形。这是因为在光学镜头中,光线会被聚焦成圆形或椭圆形的光斑,而电子显微镜也使用类似的聚焦原理。光阑可以帮助SEM控制束斑的形状,从而获得更好的SEM图像。

ZEM15台式扫描电子显微镜

ZEM15台式扫描电子显微镜

综上所述,光阑是台式扫描电镜系统中非常重要的组成部分,它能够控制电子束的直径和形状,从而获得高分辨率和清晰的图像。因此,保持光阑的清洁和良好状态对于SEM的正常运行和成像非常重要。

以上就是泽攸科技小编分享的台式扫描电镜光阑的主要作用。更多扫描电镜信息及价格请咨询15756003283(微信同号)

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作者:泽攸科技