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扫描电镜加速电压作用

日期:2023-04-27

扫描电镜(SEM)使用高能电子束与样品相互作用,因此加速电压是扫描电镜中非常重要的参数之一。

加速电压指的是电子束在扫描电镜中加速的电压。在SEM中,电子束从电子枪发射出来后,通过一系列的透镜和偏转器,被聚焦成一个小点,并在样品表面扫描。扫描电子束与样品相互作用,产生二次电子、反射电子、散射电子、X射线等不同的信号,这些信号被探测器接收并转化为图像。

加速电压的作用包括:

影响电子束的能量和速度:加速电压越高,电子束的能量和速度越大,电子束穿透样品的深度也越深,从而影响图像的分辨率和对样品的破坏程度。

影响图像的对比度:加速电压对图像的对比度有很大的影响。在低加速电压下,电子束与样品表面相互作用时,产生的二次电子信号相对强烈,从而提高图像的对比度。

影响EDS分析结果:在EDS分析中,加速电压对激发X射线的能量和强度有很大的影响,因此须根据样品的性质和所需的分析结果来选择合适的加速电压。

因此,选择合适的加速电压是SEM中非常重要的一个参数,需要根据样品的性质和所需的分析结果来确定。

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作者:泽攸科技