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扫描电镜电子枪的基本工作原理是通过加热阴极发射出电子，然后利用加速电场将电子加速到较高的能量水平，通过电磁透镜系统将电子聚焦成细小的电子束。这个电子束经过样品表面时，会与样品表面发生相互作用，发射出次级电子或背散射电子等信号，然后这些信号被探测器接收并转换成图像信号，用于形成扫描电镜图像。

此外，扫描电镜电子枪的性能取决于阴极的材料和形状、加速电场的强度和分布、聚焦极和透镜系统的设计等因素。常见的SEM电子枪材料包括钨、铥、铑等，不同材料的电子发射性能和寿命有所差别。

ZEM15台式扫描电镜能谱一体机

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