扫描电镜能谱仪的几种工作模式
日期：2023-02-07
扫描电镜能谱仪是用来对材料微区成分进行分析的一种仪器，通常配合扫描电子显微镜、透射电子显微镜及扫描透射电子显微镜使用。其工作模式一般为以下几个方面。
点分析
电子束固定再试样感兴趣的点上，进行定性或定量分析。该方法准确度高，用于显微结构的成分分析，对低含量元素定量的试样，只能用点分析。
线扫描
电子束沿一条分析线进行扫描时 ，能获得元素含量变化的线分布曲线 。结果和试样形貌像对照分析能直观地获得元素在不同相或区域内的分布 。
元素面分布
电子束在试样表面扫描时，元素在试样表面的分布能在屏幕上以亮度(或彩色)分布显示出来，亮度越亮说明元素含量越高。研究材料中杂质、相的分布和元素偏析常用此方法。
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作者：泽攸科技
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