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PicoFemto扫描电镜SEM纳米力测量系统

日期:2022-05-20

PicoFemto SFP3 SEM纳米力测量将纳米压痕仪集成进扫描电镜中,使用户可以在扫描电镜中进行原位纳米压痕研究。该系统由一个三维压电驱动的样品台和一个纳米力测量探针组成。样品安装方式灵活

多样,可在三维纳米位移台的驱动下,达到超过5 mm的准确定位,定位分辨率优于100 nm,以使待测量区域准确对准力探针。力探针同样由压电驱动,在轴向达到100 um的伸缩长度,位移分辨率优于

0.25mm。由力传感器准确测量所施加的力的载荷,可测拉力和压力。并有不同的最大量程的力传感器可选配,达到很好的测量效果。通过搭配电学、

光学、加热等模块,该产品还可以实现包括原位力/热耦合、力/光耦合、力/电耦合、力/热/晶体取向耦合等多场耦合研究。

扫描电镜纳米力测量系统1.png


PicoFemto SFP3 SEM纳米力测量系统基本技术参数表


技术指

兼容性

兼容赛默飞、日本电子、蔡司、日立、ZEM 等型号扫描电子显微镜

最大载荷

±10 ~±50 mN可选

载荷分辨率

优于10 mN

加载模式

拉伸、压缩、弯曲、压痕、划痕等

纳米压痕模式

加载-保载-卸载,以及循环加载模式

软件

自动测量载荷-位移曲线,自动保存;

样品位移反馈

闭环

响应时间

50ms

加载位移精度

0.25 mm

XYZ反馈

开环

XYZ粗调范围

大于5 mm

XYZ细调范围

2.5 mm

XYZ细调分辨率

0.6 nm

XYZ位移操作模式

手柄操作(可改为软件)。

电流测量量程

±1.5 A

电流测量精度

±100 fA

电压测量量程

±200V

电压测量精度

±100 nV

电学测量模式

自动电流-电压(I-V)测量、电流-时间(I-t

测量,自动保存。

加热范围

室温至500

加热稳定性

优于1

其他

可选光学模块


   以上就是泽攸科技对PicoFemto扫描电镜SEM纳米力测量系统的介绍,关于价格请咨询18817557412(微信同号)

扫描电镜纳米力台


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扫描电镜纳米力台 SEM纳米台 纳米压痕仪

作者:泽攸科技