超高真空微型光栅尺SMG26
超高真空微型光栅尺SMG26特点,体积小,结构紧凑,适用于超高真空使用,良好的耐高温性,高可达100℃,SMG26系列光栅的栅距为256μm,下表为不同细分倍数下的允许速度值,精度高,精度3μm(20℃),
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超高真空微型光栅尺SMG26特点,体积小,结构紧凑,适用于超高真空使用,良好的耐高温性,高可达100℃,SMG26系列光栅的栅距为256μm,下表为不同细分倍数下的允许速度值,精度高,精度±3μm(20℃),采用玻璃栅尺,膨胀系数小,读数稳定性良好。分辨率高,配合TF15细分接头,读数分辨率可达1nm。安装容许公差大(容许误差±0.1mm)。
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