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扫描电镜中的电子束与样品的相互作用是什么?

日期:2023-05-22

在扫描电镜(SEM)中,电子束与样品之间存在多种相互作用。这些相互作用包括:

散射:当电子束与样品中的原子或分子相互作用时,会发生散射现象。这包括弹性散射(即高角度散射,用于成像)和非弹性散射(即低角度散射,通常用于能谱分析)。散射事件提供了有关样品中原子排列、晶体结构和化学成分的信息。

透射:在样品较薄或具有透明性的区域,电子束可能会穿过样品而不被散射。这种透射现象类似于透射电子显微镜(TEM),它提供了关于样品的内部结构和组成的信息。

吸收:样品中的原子或分子可以吸收电子束的能量,导致电子束的衰减。这种吸收现象可以用于测量样品的组成和密度。

辐射:电子束与样品相互作用时,会产生辐射,如荧光辐射、逆康普顿散射和布拉格反射。这些辐射事件提供了有关样品的能谱信息。

电荷交换:电子束与样品中的原子或分子之间可能发生电荷交换,导致电子束和样品之间的电荷转移。这种电荷交换作用可以用于探测样品的电荷状态、化学反应和表面电荷密度。

这些电子束与样品的相互作用产生的信号可以被SEM系统检测和记录,用于生成图像和分析样品的结构、形貌、组成和性质。不同的相互作用方式可以用于不同的SEM技术和应用,如成像、能谱分析、电子背散射图像等。

ZEM15台式扫描电子显微镜

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作者:泽攸科技