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扫描电子显微镜对我们来说似乎有点陌生，但它存在于我们的生活中。我们需要进一步了解它，才能更好地利用它为人类创造价值。所以，今天泽攸科技小编就给大家介绍一下扫描电子显微镜的结构组成等相关内容。希望能给您的生活带来更多的帮助，从而在生活中取得进步。

扫描电子显微镜由三部分组成：真空系统、电子束系统和成像系统。下面提到的扫描电子显微镜的地方，都用SEM代替。

1、真空系统

成像系统和电子束系统均内置于真空柱中。真空柱的底部是密封室，也就是放置样品的地方。
之所以采用真空，主要基于以下两个原因：
电子束系统中的灯丝在普通大气中会很快氧化失效，所以使用SEM时除了真空外，通常还需要用纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。
为了增加电子的平均自由程，使更多的电子用于成像。

2. 电子束系统

电子束系统由电子枪和电磁透镜组成。主要用于产生能量分布很窄且具有一定电子能量的电子束，用于扫描成像。

电子枪
电子枪是用来产生电子的，主要有两种，一共三种。
一种是利用场发射效应产生电子，称为场发射电子枪。这种电子枪很昂贵，超过十万美元，并且需要不到10-10托的超高真空。 但它的使用寿命至少为1000小时，并且不需要电磁镜头系统。
另一种是利用热发射效应产生电子。有钨枪和六硼化镧枪两种。 钨枪的寿命在30到100小时之间，价格便宜，但图像不如其他两种明亮，通常用作廉价或标准的SEM配置。六硼化镧枪的寿命介于场致发射电子枪和钨枪之间。200-1000小时，价格是钨枪的十倍左右。图像比钨枪亮5-10倍，需要比钨枪略高。真空度一般在10-7torr以上；然而，它比钨枪更容易过饱和和热激发。

电磁透镜
热发射电子需要电磁透镜才能形成光束，因此电磁透镜对于使用热发射电子枪的SEM来说是必不可少的。通常组装两个组：
会聚透镜：顾名思义，会聚透镜使用会聚电子束，组装在真空柱中，位于电子枪下方。通常不止一个，并且有一组会聚光圈与之匹配。 但是，会聚透镜仅用于会聚电子束，与成像焦点无关。
物镜：物镜是真空柱底部的电磁透镜，负责将电子束的焦点会聚到样品表面。

             

3. 成像系统
电子通过一系列电磁透镜后成为束流，撞击样品并与样品相互作用，会产生二次电子、背散射电子、欧格电子、X射线等一系列信号。 因此，需要使用二次电子探测器、X射线能谱分析仪等不同的探测器来区分这些信号，以获得所需的信息。尽管X射线信号不能用于成像，但习惯上将X射线分析系统划分为成像系统。
一些检测器很昂贵，例如罗宾逊背散射电子检测器。在这种情况下，可以使用二次电子检测器来代替，但需要设置偏置电场来滤除二次电子。

希望本文能为对扫描电子显微镜的结构组成的研究提供参考，如果需要了解扫描电子显微镜产品及价格，欢迎您咨询：18817557412（微信同号）。