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扫描电镜与透射电镜都是用来获取样品信息的设备，那么二者有何区别呢？

电子束光路位置不同

透射电镜的样品在电子束中间，电子源在样品上方发射电子，经过聚光镜，然后穿透样品后，有后续的电磁透镜继续放大电子光束，之后投影在荧光屏幕上。

扫描电镜的样品在电子束末端，电子源在样品上方发射的电子束，经过几级电磁透镜缩小，到达样品。

工作原理区别

透射电镜：电子束在穿过样品时，会和样品中的原子发生散射，样品上某一点同时穿过的电子方向是不同，这些电子通过过物镜放大后重新汇聚，形成该点一个放大的实像，这个和凸透镜成像原理相同。

扫描电镜：利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。当电子轰击样品表面时会产生各种信号，其中包括二次电子、背散射电子和不同能量的光子等。这些信号来自样品的特定发射区域，它随表面形貌的不同而变化。从而可以获得样品的成份、表面形貌、晶体结构等信息。

ZEM15台式扫描电镜能谱一体机

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