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能谱仪（EDS , Energy Dispersive Spectrometer）是用来对材料微区成分进行分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜以及扫描透射电子显微镜使用的一种仪器。能谱仪诞生于20世纪70年代初，由于其结构简单，使用方便，检测速度快，与电镜和其他附件配合可实现多种综合分析，因此得到了广泛应用。

扫描电镜-能谱仪的几种工作模式：

点分析

电子束固定在试样感兴趣的点上，进行定性或定量分析。该方法准确度高，用于显微结构的成份分析，对低含量元素定量的试样，只能用点分析。

线扫描

电子束沿一条分析线进行扫描时，能获得元素含量变化的线分布曲线。结果和试样形貌像对照分析能直观地获得元素在不同相或区域内的分布。

元素面分布（elemental mapping)

电子束在试样表面扫描时，元素在试样表面的分布能在屏幕上以亮度（或彩色）分布显示出来，亮度越亮说明元素含量越高。研究材料中杂质、相的分布和元素偏析常用此方法。

ZEM15台式扫描电镜能谱一体机

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