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泽攸科技自研电子束减速技术取得重要突破

泽攸科技自研电子束减速技术取得重要突破

众所周知,扫描电子显微镜是由带负电的电子束作为光源激发样品产生信号,从而实现对界面的微观观测。理论上,越高的电子束发射能量会带来越高的分辨率和图像衬度。但是实际测试过程中并不是发射能量越高越好,高能量的电子束一方面可能损伤样品,另一方面会在导电性较差的样品表面聚集,从而极大影响观测效果。目前比较常用的样品制备手段是利......

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